Рентгенофлуоресцентный спектрометр-толщиномер с измерительным и высокопроизводительным вычислительным модулем для определения тонких покрытий, микроэлементов, сплавов, электролитов

 

Области применения:

 

  • измерения очень тонких покрытий (напр., золото/палладий
  • ≤ 0,1 мкм);
  • измерения толщины покрытий и состава в электронной и полупроводниковой промышленности;
  • автоматизированные измерения (напр., в контроле качества);
  • измерение содержания свинца в припое

 

Особенности:

 

  • измерение и анализ очень тонких покрытий даже при очень сложных композициях или в небольших концентрациях элементов;
  • программируемая X/Y-платформа позволяет использовать прибор для автоматизированных измерений в области обеспечения качества и контроля производства.

 

Характеристики:

 

  • Диапазон измеряемых элементов: от Al (z=13) до U (z=92).
  • Одновременный анализ до 24 элементов и 24 слоев.
  • Кремниевый PIN (полупроводниковый) детектор с охлаждающим элементом Пельтье (не нуждается в охлаждении жидким азотом).
  • Измерительная платформа (оси XY): быстро перемещаемая, с электромотором, можно программировать перемещение.
  • Вертикальный детектор (ось Z): перемещаемый.
  • Крышка измерительной камеры: открывающаяся вверх, с прозрачной передней панелью.
  • Увеличенная камера c щелевым отверстием для измерения работы с плоскими образцами.
  • Микрофокусная трубка.
  • Цветной видеомикроскоп и лазерный указатель для ориентации образца и наблюдения за местом измерения.
  • Точная настройка может производиться вручную или с помощью джойстика, или с ПК при помощи мыши и клавиатуры.
  • Возможность установки напряжения источника рентгеновского излучения: 10, 30 или 50 кВ
  • Коллиматоры: 0,1 мм; 0,3 мм; 0,6 мм; 0,5x0,15 мм.
  • Измерения проводятся сверху вниз.
  • Размеры измерительной камеры (Ширина x глубина x высота): 237: 460 х 495 х 146 мм,
  • Максимальный вес измеряемого образца: до 5 кг; до 20 кг - с уменьшением точности перемещения.
  • Максимальная высота образца: до 140 мм.
  • Рабочие температуры: 10 °C – 40 °C; температура хранения: 0 °C – 50 °C.
  • Программное обеспечение Win FTM V.6 BASIC + PDM.
  • Вес прибора – 155 кг.
  • Прибор поставляется с компьютером, монитором, калибровочным набором из чистых элементов.